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本文将硅微压传感器的典型结构--双岛梁膜结构应用于应变式压力传感器的设计中,设计了一种适用于较低量程压力传感器的弹性元件,并用有限元方法对结构参数进行了优化设计。为压力传感器的研制提供了新的思路。
基于双岛梁膜结构的弹性元件设计
【摘 要】
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本文将硅微压传感器的典型结构--双岛梁膜结构应用于应变式压力传感器的设计中,设计了一种适用于较低量程压力传感器的弹性元件,并用有限元方法对结构参数进行了优化设计。为
【机 构】
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中国空气动力研究与发展中心设备设计及测试技术研究所
【出 处】
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四川省电子学会传感技术第11届学术年会
【发表日期】
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2009年期
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