热镜膜的制备工艺探索及性能研究

来源 :中国科协第三届青年学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kof8697
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分析了热解法镀膜中多种工艺参数对SnO〈,2〉:I热镜膜性能的影响,并对其影响原因进行了讨论,得到了较佳的镀制工艺条件:基材温度T〈,S〉为450℃,NH〈,3〉I、HCl掺杂比例分别为0.3℅(重量比),1.0℅(体积比)、宜采用间歇式喷镀。
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