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本文介绍了单闭环大行程纳米平移台最新的PI Hybrid混合纳米位移技术的研究现状，阐述了大行程纳米精度目标定位(例如表面检测和计量)的应用的技术方案。
Hybrid 混合纳米定位技术大行程纳米精度平移台
【摘 要】
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本文介绍了单闭环大行程纳米平移台最新的PI Hybrid混合纳米位移技术的研究现状，阐述了大行程纳米精度目标定位(例如表面检测和计量)的应用的技术方案。
【机 构】
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普爱纳米位移技术(上海)有限公司
【出 处】
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五省一市光学学会联合年会暨十三省市光学学会联合年会
【发表日期】
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2008年9期
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