【摘 要】
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主要针对类金刚石膜存在的内应力大等缺点,通过反应磁控溅射技术制备了掺杂Ti、Zr金属元素的DLC薄膜,将掺杂Ti、Zr金属元素的DLC薄膜与未掺杂DLC薄膜的表面形貌和力学性能进
【机 构】
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北京航空制造研究所/高能束流加工技术重点实验室,北京100024
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主要针对类金刚石膜存在的内应力大等缺点,通过反应磁控溅射技术制备了掺杂Ti、Zr金属元素的DLC薄膜,将掺杂Ti、Zr金属元素的DLC薄膜与未掺杂DLC薄膜的表面形貌和力学性能进行了比较,结果表明金属的掺杂能够明显降低薄膜内应力,提高薄膜附着力,与含氢DLC膜相比,金属的掺杂还提高了薄膜的硬度,但掺杂后的摩擦系数变大.
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