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为满足移相器低损耗的要求,分析了基于RF MEMS开关毫米波段移相器的工作原理,提出了采用锯齿形结构共面波导以抵消MEMS金属桥引入的反射损耗的方法,并提出一种新的移相器模型。在此基础上,利用CST软件对所设计的MEMS移相器的网络特性进行了仿真与分析,结果表明,本文提出的模型具有在2GHz工作带宽内反射损耗小于-10dB,插入损耗在2GHz内大于-2dB,单桥相移量达到22.5度,与传统MEMS移相器相比,反射损耗减小8dB。在此基础上,采用ANN方法进行分析,提高了设计的效率。