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该文讨论结构相似器件的基本概念和检验中运用结构相似技术的几个问题。
半导体器件检验中的结构相似技术
【摘 要】
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该文讨论结构相似器件的基本概念和检验中运用结构相似技术的几个问题。
【机 构】
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信息产业部电子第五十五研究所
【出 处】
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中国电子学会可靠性分会第十届学术年会
【发表日期】
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2000年期
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