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该文对ＯＥＭ压力传感器及ＯＥＭ压力传感器的工作原理和结构设计进行了探讨，同时结合自己的工作给出了现已生产的ＯＥＭ压力传感器的精度和分析。介绍了ＯＥＭ传感器的广阔前景和应用领域。
扩散硅OEM压力传感器的研究
【摘 要】
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该文对ＯＥＭ压力传感器及ＯＥＭ压力传感器的工作原理和结构设计进行了探讨，同时结合自己的工作给出了现已生产的ＯＥＭ压力传感器的精度和分析。介绍了ＯＥＭ传感器的广阔前景和应用领域。
【机 构】
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工业部沈阳仪器仪表工艺研究所
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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