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该文总结介绍了近年来国内外微机械加工技术的新发展，并讨论了微机械技术进一步发展的要求和发展趋势。
微机械加工技术发展概况
【摘 要】
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该文总结介绍了近年来国内外微机械加工技术的新发展，并讨论了微机械技术进一步发展的要求和发展趋势。
【机 构】
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大学电子工程系,传感技术国家实验室
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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