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基于MEMS 微镜的二维光学扫描系统是趋于低成本、小型化和高清晰的新一代3D 成像激光雷达的核心部件之一。由于现有可实现二维高帧频扫描的MEMS 其口径和扫描角度有限，因而需要对MEMS 扫描后的激光束进行相应扩角和扩束。
3D成像激光雷达系统中的MEMS扫描:扫描视场角与扩束
【摘 要】
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基于MEMS 微镜的二维光学扫描系统是趋于低成本、小型化和高清晰的新一代3D 成像激光雷达的核心部件之一。由于现有可实现二维高帧频扫描的MEMS 其口径和扫描角度有限，因
【机 构】
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哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家重点实验室,黑龙江哈尔滨150001
【出 处】
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第十届全国激光技术与光电子学学术会议
【发表日期】
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2015年期
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