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本文以新研制DN63 复合分子泵为对象，通过复合分子泵功能结构分析，建立可靠性模型，开展故障分析，按照整机可靠性指标要求，通过可靠性预计，合理分配各部件可靠性指标。根据故障分析和功能分析，找出关键部件，开展针对性优化改进设计，试验表明，有效达到提升产品质量和可靠性的目的。
高速小型复合分子泵可靠性设计研究
【摘 要】
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本文以新研制DN63 复合分子泵为对象，通过复合分子泵功能结构分析，建立可靠性模型，开展故障分析，按照整机可靠性指标要求，通过可靠性预计，合理分配各部件可靠性指标。根据故障
【机 构】
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中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 621900
【出 处】
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第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议(ICVMSE2015)
【发表日期】
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2015年期
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