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靶场是惯性约束聚变（ICF）物理实验的重要部分，八路激光束以45°大角度入射，其精密调焦质量的优劣，直接关系到ICP实验的实验效果。该文介绍了运动精度高达±3μm的自动调焦系统结构实现方法、保证高精度的措施和部分精度测试结果。
强激光多维靶球精密调焦系统研制
【摘 要】
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靶场是惯性约束聚变（ICF）物理实验的重要部分，八路激光束以45°大角度入射，其精密调焦质量的优劣，直接关系到ICP实验的实验效果。该文介绍了运动精度高达±3μm的自动调焦系统结构
【机 构】
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上海大学精密机械工程系(上海嘉定)
【出 处】
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中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会
【发表日期】
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1999年期
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