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无线通信的发展要求系统中的无源器件微型化，以实现系统单片集成。微加工技术制造的无源器件不仅可以满足小型化要求，而且在RF频段内，其品质因子高达数千。薄膜体声波(BAW)滤波器用来替代通信系统中的传统射频滤波器，因为目前其性能已超过表面波(SAW)滤波器，而且可以通过标准集成电路技术生产，极具价格竞争力。鉴于此，本文以微加工技术制作的薄膜体声波谐振器以及由它连接组成的滤波器为重点，介绍了它的工作原理、结构模型以及相关参数，并模拟了其频率特性。