【摘 要】
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本文探讨了一种提升干膜光阻剂解析能力的新方案，Z-6030单独使用，对附着力有提升;但是铜面残留声重;类似结构的能动科技研发中心也得到验证，将主体树脂做成有一定活性的树脂，能有
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本文探讨了一种提升干膜光阻剂解析能力的新方案，Z-6030单独使用，对附着力有提升;但是铜面残留声重;类似结构的能动科技研发中心也得到验证，将主体树脂做成有一定活性的树脂，能有效增加配方中低分子树脂的使用;此种树脂的使用，可以有效地增加固化后膜的交联密度，增强了细线路的附着力，将这种活性树脂作为千膜光阻剂配方的助树脂，配合原树脂使用，可以简化配方。
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