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利用X-射线光电发射谱和同步辐射共振光电发射谱研究了外延生长的CeO2-x(111)薄膜在Ar离子轰击作用下电子态结构的变化。外延生长的CeO2-x(111)薄膜与文献报道的完全氧化的二氧化铈薄膜一致,Ar离子轰击诱导了氧化态CeO2-x薄膜电子态结构的变化,导致薄膜表面部分Ce4+被还原成Ce3+。当光子能量在Ce4d→4f激发阈值范围内,共振光电发射谱能清晰的分辨出Ce4f能级电子对价带谱的贡献。