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真空触发开关(TVS)是一种高性能的脉冲功率器件,其结构简单,便于控制,安全可靠性高,在高电压、大电流领域越来越受到广泛地应用。本文采用高压击穿与能量续流的触发电路来接通TVS,对触发过程中的触发能量和延时性质进行了分析和研究。结果表明，当触发能量充分时TVS能够稳定地导通，总延时在数百纳秒,并且随主间隙外加电压的增加有明显减小的趋势。