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结合CMOS工艺对湿度传感器电极的要求，针对三种常见的电极，使用ANSYS软件建立了有限元分析模型.考察了三种不同形状的电极在相同条件下，极板间电容的大小和电场分布情况，并对仿真结果进行分析比较，设计了一款适合CMOS湿度传感器的叉指电极.
基于ANSYS的CMOS湿度传感器电极研究与设计
【摘 要】
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结合CMOS工艺对湿度传感器电极的要求，针对三种常见的电极，使用ANSYS软件建立了有限元分析模型.考察了三种不同形状的电极在相同条件下，极板间电容的大小和电场分布情况，并对仿真结果进行分析比较，设计了一款适合CMOS湿度传感器的叉指电极.
【机 构】
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大连理工大学电信学院,大连,116023
【出 处】
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第五届全国信息获取与处理学术会议
【发表日期】
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2007年4期
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