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为提高钛合金高温微动疲劳抗力,利用离子增强沉积技术在钛合金表面制备了TiN/Ti复合膜层,研究了膜层的剖面成分分布、膜基结合强度、膜层显微硬度、韧性、摩擦学性能及抗微动疲劳性能。结果表明:利用离子增强沉积技术可以获得硬度高、韧性好、膜基结合强度高的TiN/Ti复合膜层.该膜层具有较好的抗磨和减摩性能,显著地提高了Ti811钛合金350℃高温环境下的常规磨损和微动疲劳抗力。喷丸强化能够显著提高Ti811合金的抗微动疲劳性能,然而喷丸后进行离子增强沉积TiN/Ti复合膜后处理,由于残余压应力的衰减及膜层易于开裂和脱落,微动疲劳抗力反而低于喷丸强化或TiN/Ti复合膜单独作用。