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真空离子渗硫技术及设备特点
真空离子渗硫技术及设备特点
来源 :全国薄膜学术讨论会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yadnlf
【摘 要】
:
该文简要介绍了离子渗硫技术,论述了当前离子渗硫技术的发展、应用的一些方面。提出了有关设备的几个关键问题。
【作 者】
:
凌国伟
倪翰
萧域星
【机 构】
:
机械局武汉材料保护研究所
【出 处】
:
全国薄膜学术讨论会
【发表日期】
:
1999年10期
【关键词】
:
离子渗硫
等离子体
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该文简要介绍了离子渗硫技术,论述了当前离子渗硫技术的发展、应用的一些方面。提出了有关设备的几个关键问题。
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