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光辅助MOCVD法制备Y2O3薄膜及其结晶性质分析
【机 构】
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集成光电子学国家重点联合实验室,吉林大学电子科学与工程学院 长春市前进大街2699号 130012
【出 处】
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第十二届全国MOCVD学术会议
【发表日期】
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2012年期
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