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选择性气相刻蚀半导体性单壁碳纳米管
【机 构】
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中国科学院化学研究所,北京100190
【出 处】
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全国第八届有机固体电子过程暨华人有机光电功能材料学术讨论会
【发表日期】
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2010年6期
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