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该文主要介绍了圆和圆柱轮廓超精密测量技术的研究进展。它包括无谐波抑制误差分离技术；直行基准空间运动的激光监测技术；基准间误差分离技术；圆和圆柱轮廓的精确测量模型与求解技术等。该文最后展望了有前景的新测量技术，如基于共焦显微技术的轮廓测量方法；基于莫尔法和光栅投影的调制光场分析法等。
圆和圆柱轮廓超精密测量技术研究进展
【摘 要】
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该文主要介绍了圆和圆柱轮廓超精密测量技术的研究进展。它包括无谐波抑制误差分离技术；直行基准空间运动的激光监测技术；基准间误差分离技术；圆和圆柱轮廓的精确测量模型与求解
【机 构】
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哈尔滨工业大学自动化测试与控制系
【出 处】
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2000年计量测试学术交流会
【发表日期】
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2000年期
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