离子辐照对硅薄膜晶化率和光学带隙的影响

来源 :第十四届全国核物理大会暨第十届会员代表大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liuyun

【作者】

：

朱亚滨盛彦斌王志光孙建荣姚存峰魏孔芳缑洁马艺准申铁龙庞立龙

【机构】

：

中国科学院近代物理研究所,甘肃兰州 730000

【出处】

：

第十四届全国核物理大会暨第十届会员代表大会

【发表日期】

：

2010年9期

【关键词】

：

硅薄膜离子辐照晶化率光学带隙

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