真空热蒸发法制备ITO透明导电膜的研究

来源 :中国光学会第三届全国光电器件科技交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xp1987627

【作者】

：

杨开愚陈志

【机构】

：

成都电讯工程学院

【出处】

：

中国光学会第三届全国光电器件科技交流会

【发表日期】

：

1987年期

【关键词】

：

真空热蒸发法制

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