【摘 要】
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本文介绍了一种用于多注速调管的新型溅射离子泵的研制工作。通过对多注速调管常用的传统层叠阳极型离子泵的解剖,分析了多注速调管长期工作后离子泵打火导致其无法正常工作
【机 构】
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中国科学院电子学研究所 北京 100080
【出 处】
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中国电子学会真空电子学分会第十六届学术年会暨军用微波管研讨会
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本文介绍了一种用于多注速调管的新型溅射离子泵的研制工作。通过对多注速调管常用的传统层叠阳极型离子泵的解剖,分析了多注速调管长期工作后离子泵打火导致其无法正常工作的原因。研制的新型离子泵采用圆筒阳极型结构,对阳极支撑绝缘瓷和排气间隙处的漂移头进行了屏蔽保护,泵体安装于第三、四磁屏组件间的管内空间,并利用多注速调管永磁聚焦系统提供均匀的轴向磁场,在保证抽速的前提下,改善了离子泵的绝缘性能。目前,该新型离子泵已应用于我所研制的多注速调管,性能良好、工作稳定。
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