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采用均苯四甲酸二酐(PMDA)及4,4-二氨基二苯基醚(ODA)为基本原料,以N,N-二甲基乙酰胺(DMAc)为溶剂制备聚酰胺酸(PAA)溶液.由于纳米粒子的表面能很大,易团聚和二次团聚.为了解决这个问题,采用了超声机械共混法,使球型nano-Al2O3,nano-SiO2和孔型nano-SiO2均匀分散在聚酰胺酸胶液中,按照一定工艺要求制备聚酰亚胺/无机纳米杂化薄膜。利用红外光谱(FT-IR)和原子力显微镜(AFM)对杂化材料进行结构和表面形貌测试与表征。并对超声波机理进行探讨。结果表明:利用超声法制备聚酰亚胺杂化材料,高聚物与纳米粒子之间有相互作用,杂化薄膜中无机纳米粒子分散均匀,且平均粒度在30nm左右.