(Dual sided) passivating contacts for silicon solar cells

来源 :2018 年第十四届中国太阳级硅及光伏发电研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liug1001

【摘要】

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Outline Introduction passivated contacts Tempress approach:LPCVD "Ox-Poly" deposition tool Overview Tool performance Results n-type rear n+ poly What about p-type? What about front side?

【机构】

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TEMPRESS AMTECH GROUP

【出处】

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2018 年第十四届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

【发表日期】

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2018年11期

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Outline Introduction passivated contacts Tempress approach:LPCVD "Ox-Poly" deposition tool Overview Tool performance Results n-type rear n+ poly What about p-type? What about front side?

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