论文部分内容阅读
点衍射球面面型检测系统中系统误差的校正方法
【机 构】
：
浙江大学光电科学与工程学院现代光学仪器国家重点实验室浙江杭州310027
【出 处】
：
第十七届全国光学测试学术交流会
【发表日期】
：
2018年8期
其他文献
KDP晶体元件的损伤阈值是目前限制高功率激光装置输出能力的主要瓶颈之一。因此需要建立合适的手段检测其表面或体内是否存在引发损伤的关键缺陷。我们基于KDP材料表面缺
随着大口径凸非球面光学元件被广泛应用于各类精密的光学系统中，其面形检测的难题日益凸显。当"大口径"的定义发生了变化，传统的测试方法已无法满足需求。
基于三波干涉原理，通过Matlab仿真，分析了"凸"型膜层对弯月形镜片面形检测时干涉图的影响。建立了"凸"型薄膜发生干涉的理论模型，解释了部分镜片面形测量中干涉图明暗条纹反