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本文详细论述了扫描电子显微镜低压电路、高压电路、显像管电路、真空系统、镜筒部分等的常见故障及其维修方法，并结合实践，讨论了扫描电子显微镜的日常维护要点。
浅谈扫描电子显微镜的维修与保养
【摘 要】
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本文详细论述了扫描电子显微镜低压电路、高压电路、显像管电路、真空系统、镜筒部分等的常见故障及其维修方法，并结合实践，讨论了扫描电子显微镜的日常维护要点。
【机 构】
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赣州华兴钨制品有限公司，江西赣州 341000
【出 处】
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2010(南昌)中西部第三届有色金属工业发展论坛
【发表日期】
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2010年期
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