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离子束辅助沉积制备钛合金薄膜
【机 构】
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工程物程研究院应用电子学研究所(四川绵阳)
【出 处】
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全国薄膜学术讨论会
【发表日期】
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1999年期
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该文报道中国科学院离子束开放研究实验室在离子束薄膜合成研究和应用方面的发展和现状。着重介绍离子束辅助沉积薄膜合成、真空磁过滤弧源沉积薄膜生长，以及离子注入ＳＯＩ材料合成