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利用几何光学模型对激光势阱中的5至10微米的高强度微粒子(如金刚石、碳化硅、石英等)受力进行分析,并对其进行计算机仿真.同时建立了实验装置,实现了对球型粒子及不规则粒子的操纵,获得了表面加工痕迹.通过实验分析确定最佳加工条件(如激光功率和加工基底参数).
利用光阱技术实现微细加工的理论与实验研究
【摘 要】
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利用几何光学模型对激光势阱中的5至10微米的高强度微粒子(如金刚石、碳化硅、石英等)受力进行分析,并对其进行计算机仿真.同时建立了实验装置,实现了对球型粒子及不规则粒子
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室(杭州)
【出 处】
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第十届全国光电技术与系统学术会议
【发表日期】
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2003年期
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