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本文提出了一种多通道并行测试的MEMS(微电子机械系统)压力传感器自动测试平台.经过评估测试，该自动化测试平台具有较高的测试精度，测试误差小于t0.2％，为测量结果的准确性提供有力的保障，为进一步降低MEMS传感器成本，促进其在物联网领域的大规模应用奠定基础。
基于Labview平台的压力传感器自动化测试系统
【摘 要】
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本文提出了一种多通道并行测试的MEMS(微电子机械系统)压力传感器自动测试平台.经过评估测试，该自动化测试平台具有较高的测试精度，测试误差小于t0.2％，为测量结果的准确性提供有
【机 构】
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江苏物联网研究发展中心 智能集成传感器工程中心,无锡214135
【出 处】
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2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
【发表日期】
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2013年期
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