阳极氧化法制备Nb2O5多孔薄膜

• 作 者: 徐照芸 罗民 吕玉琴 房俊卓 宋伟明
• 机 构: 宁夏大学,化学化工学院,银川 750021 宁夏大学,化学化工学院,银川 750021 宁夏大学,
• 出 处: 第十一届全国应用化学年会
• 发表日期: 2009年3期
• 关键词: 阳极氧化 多孔薄膜 电解液 氧化电压

采用恒压阳极氧化法在室温下制备多孔Nb2O5薄膜,研究了电解液种类及氧化电压对Nb2O5纳米孔生成的影响。结果表明,在1mol/LH3PO4/0.5％(质量分数)HF电解液中,电压为15V,阳极氧化1h得剑孔径为20～30nm,膜厚770～790nm的Nb2O5薄膜;在1mol/LH2SO4/1.0％(质量分数)HF电解液中,电压为20V,阳极氧化1h得孔径约为20nm,膜厚320～330nm的Nb2O5薄膜。电解质的种类对多孔Nb2O5薄膜的微观彤貌和膜厚有显著的影响。在1mol/LH3PO4/1.0％(质量分数)HF磷酸/HF电解液中,电压为5V时,没有形成多孔薄膜;电压为15V时,形成孔径约为20nm的多孔薄膜;电压升高到20V时,在多孔Nb2O5薄膜表面出现了锥状形貌的氧化物。通过控制阳极氧化电压可控制多孔膜形貌。