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一种新型的S－枪磁控管溅射源
【机 构】
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上海市通用机械技术研究所
【出 处】
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中国真空学会第三届真空薄膜技术学术研讨会
【发表日期】
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1989年期
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该文从相对论电子运动的基本方程出发，导出了回旋磁管中电子运动的轨道方程。利用轨道方程对3mm回旋磁控管的参量作了数值计算。在100GHz，6次回旋谐波的工作，电压为50KV和60KV的
简要介绍了了氧离子注入机ＥＣＲ离子源系统，重点定性地分析了磁控管阳极电源的工作原理，并提出了改正意见。