【摘 要】
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电容式压力传感器因其低功耗、低温漂、高灵敏度的特点,一直以来都是压力传感器研究的热点之一.本文针对变间距电容式传感器,在分析工艺可靠性的基础上,提出在典型的键合以形成压力空腔的电容结构基础上,增加背面的P+梁作为支承和腐蚀自停止层的矩形膜阵列结构,力图通过在梁处的应力集中效应,缓解由于敏感薄膜的减薄或热工艺引起的结构粘附,以提高电容结构的可靠性与适用性.对该边梁支承结构进行理论计算,并采用有限元分
【机 构】
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东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
电容式压力传感器因其低功耗、低温漂、高灵敏度的特点,一直以来都是压力传感器研究的热点之一.本文针对变间距电容式传感器,在分析工艺可靠性的基础上,提出在典型的键合以形成压力空腔的电容结构基础上,增加背面的P+梁作为支承和腐蚀自停止层的矩形膜阵列结构,力图通过在梁处的应力集中效应,缓解由于敏感薄膜的减薄或热工艺引起的结构粘附,以提高电容结构的可靠性与适用性.对该边梁支承结构进行理论计算,并采用有限元分析软件进行力学模拟,分析结构尺寸对传感器特性,提出结构优化的方向.最后对如何利用该边梁支承结构制造压力传感器给出具体的工艺实现方案.
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