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Fabrication of perfect ZnO layers in low-pressure CVD system using oxygen as a transporting gas

来源 :第六届国际氧化锌及相关材料研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xvgpzz6h

【作 者】

：

A.M.Bagamadova V.V.Mamedov A.K.Omaev S.Sh.Makhmudov A.Sh.Asvarov 

【机 构】

：

Institute of Physics,Daghestan Science Center of the Russian Academy of Sciences,Yaragy str.94,36700

【出 处】

：

第六届国际氧化锌及相关材料研讨会

【发表日期】

：

2010年期

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