基于共面波导传输线测量高损耗电介质薄膜参数的方法研究

• 作 者: 陈永堃 唐宗熙 吴韵秋
• 机 构: 电子科技大学 电子工程学院,成都 611731
• 出 处: 中国电子学会电路与系统学会第二十五届年会
• 发表日期: 2014年期
• 关键词: 波导传输线 线测量 高损耗 电介质薄膜 薄膜参数 等效复介电常数 共面波导 多层介质

本文基于多层介质共面波导传输线测量法,设计一种金属底板共面波导结构(CBCPW)测量电介质薄膜的复介电常数,通过准静态方法对多层介质共面波导等效复介电常数和特性阻抗进行理论分析.采用Ansoft HFSS软件在500MHz～6GHz宽频带范围内对测试结构进行仿真,结果表明电介质薄膜的复介电常数可以通过测量传输线的S参数进行较为精确的计算,误差小于10％.