论文部分内容阅读
[!--newstext--]
[!--title--]
【摘 要】
：
在碳化硅(SiC)器件制造技术中干法刻蚀是一个不可逆的关键工艺,刻蚀条件的变化造成SiC表面的粗糙度也出现明显不同。而对SiC的感应耦合等离子体(ICP)干法刻蚀来说,有光刻
【机 构】
：
Nanjing Electronic Devices Institute, Sctence and Technology on Monolithic lntegrated Circuits and M
【出 处】
：
第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议
【发表日期】
：
2012年期
其他文献
这天,著名画家毕加索家里来了一个乡下小姑娘,说要跟他学画画。毕加索没有同意,让小姑娘先当他的厨娘。从此,小姑娘每天把饭做好后,都亲自给毕加索送去,为的是能够多看一会儿
我国有关部门曾提出妇女在月经期妊娠期和哺乳期(简称“三期”)应注意加强劳动保护。因为妇女在月经期的身体抵抗力相对下降;在妊娠和哺乳期妇女的身体新陈代谢加快,呼吸与
本文主要研究退火对原子层沉积Al2O3薄膜表面和Al2O3/4H-SiC界面的影响。生长Al2O3薄膜的前驱体为三甲基铝(TMA)与水(H2O)，生长速率为1.26(A)/cycle。薄膜最终厚度为10 nm
为研究SiC衬底上β-FeSi2薄膜的生长机理,采用直流磁控溅射铁硅合金靶和硅靶共镀以及后续的快速退火热处理的方法在6H-SiC衬底上制备β-FeSi2薄膜。主要研究了退火温度对
会议
本文利用离子注入单晶硅表面的方法分别研制了硫和磷重掺杂的硅材料，并对比了二者在准分子激光退火和热退火前后的光吸收率变化特征。对低于硅带隙的1100～2600nm的近红外光
会议
沥青混凝土路面施工在市政工程建设中扮演着十分重要的角色,它不仅可以有效改善城市的交通结构,还可以切实提高城市的运输能力.本文主要探讨市政工程沥青混凝土路面施工技术
日益完善的交通运输网络有力保障了社会发展及广大群众出行,在交通运输网络中公路不断加大了交通运输功能.其耐久性、安全可靠性及适用性是对其质量进行评估的一个有效因素,
Satyendra Pakhale．是当今国际设计舞台上的标志性人物．他的设计从电脑存储硬盘到概念汽车．包罗万象．所有的作品都源自“普遍意义”的原则。Satyendra Pakhale总是称自己为“文化
本文主要针对拓宽公路路面纵向开裂的原因进行了针对性的探讨以及详细的研究,在其针对性的分析过程当中同时也提出了许多具有建设性的意见和建议以及具体防治措施,希望通过本
随着我国经济社会的高速发展,我国城市化程度也逐步增加,在城市化加强的过程中,交通运输行业也得到了快速发展.大型运输车辆出现在城市的市政道路上,为了防止道路出现裂缝或