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Silane plasmas from clusters to thin films and epitaxial growth
【机 构】
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LPICM-CNRS,EcolePolytechnique,91128Palaiseau,Cedex,France
【出 处】
：
第十一届全国硅基光电子材料及器件研讨会
【发表日期】
：
2016年6期
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