Comparative Study of Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition Ni by using Two Metallorganic Precursor

来源 :2011年第三届微电子及等离子体技术国际会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：long_teng

【摘要】

：

Nickel thin films were deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition (PE-ALD) by using metallorganic precursors and various reactant gases,H2 and NH3,inc

【作者】

：

Jaehong Yoon Woo-Hee Kim Jungku Song Hyungjun Kim

【机构】

：

School of Electrical and Electronic Engineering, Yonsei University, 262 Seongsanno, Seodaemun-gu, Se

【出处】

：

2011年第三届微电子及等离子体技术国际会议

【发表日期】

：

2011年期

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

Nickel thin films were deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition (PE-ALD) by using metallorganic precursors and various reactant gases,H2 and NH3,including its plasma.

其他文献

乌鲁木齐市大气污染状况及影响因素分析

根据乌鲁木齐大气环境质量监测数据,对2001 年～2010 年期间乌鲁木齐市大气环境质量污染特征和主要污染物的变化趋势进行了分析.结果表明,2001 年～2010 年乌鲁木齐市

会议

基于能值生态足迹理论的新疆农业废弃物再利用方式评估

农业废弃物中蕴含着巨大能量,如果未合理再利用,会造成资源浪费甚至严重污染环境.为了将可持续发展理念变成现实的可操作目标,人类必须知道自己对自然资产利用的状况,因此需

会议

生态足迹理论新疆农业废弃物再利用方式自然资产利用可操作可持续发展资源浪费

Fluid simulation of phase-shift effect in hydrogen capacitively coupled plasmas

A two-dimensional self-consistent fluid model coupled with the full set of Maxwell equations is established to investigate the phase shift effect on transient b

会议

Electromagnetic effects on growth and transport of dust particles in VHF capacitively coupled silane

Dust particles have been observed in thin film deposition,etching and other surface modification in microelectronics and nanotechnology processes.

会议

干旱绿洲区土壤动物群落对土壤盐渍化的响应

以内陆干旱区黑河中游绿洲边缘区的天然沙质草地及其转变成的人工梭梭灌木林(21a)、人工杨树林(28a)、人工樟子松林(33a)和农田(开垦27a和100a)为研究对象,基于6种研究样地土

会议

干旱绿洲区土壤动物群落一元回归分析土壤盐渍化内陆干旱区樟子松林演变特征研究对象

In-situ P doped epitaxial Si1-xCx growth under UHV-CVD

As the gate length of transistors is reaching beyond the 32 nm technology nodes,fundamental physics and material limitations,such as off-state leakage current a

会议

苯的使用与人体自身的健康保护

苯是临床检验产室用于擦拭显微镜镜头,及保养和擦拭各种检验仪器的主要药物。因为它有较强的去污能力,所以很受使用者的肯定。但是,苯的毒害以及对人体健康的严重威胁,却未

期刊

检验仪器人体健康防范措施去污能力化学致癌剂白血癌苯接触化学试剂医疗保健药品使用

Studies on the Spatial and Temporal Behaviors of the Electron Energy Distribution and Plasma Paramet

Spatial and temporal behaviors of the electron energy distributions (EEDFs) and the plasma parameters were experimentally studied in inductively coupled plasma

会议

Friction Force Microscopy Study of Annealed Diamond-like Carbon Film

Diamond-like carbon (DLC) films were prepared on silicon substrates by the radio frequency (RF) plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) method using m

会议

Patterning of SnO2 / SnTe binary mask structure for extreme ultra-violet lithography using inductive

Currently,extreme ultra-violet lithography (EUVL) is the major candidate of next generation lithography for below 25 nm technology node.

会议

Comparative Study of Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition Ni by using Two Metallorganic Precursor

其他学术论文