【摘 要】
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一维定向排列的ZnO纳米线阵列有着优良的紫外光电特性,是一种近年来备受关注的纳米材料.本文研究了一种以高纯锌粉为原料,采用低压CVD气相传输法制备ZnO纳米线阵列的可控生长
【机 构】
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西安交通大学电子与信息工程学院 西安710049
【出 处】
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第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
一维定向排列的ZnO纳米线阵列有着优良的紫外光电特性,是一种近年来备受关注的纳米材料.本文研究了一种以高纯锌粉为原料,采用低压CVD气相传输法制备ZnO纳米线阵列的可控生长方法,该生长过程具有不引入其他杂质的优点.具体对ZnO纳米线阵列可控生长的关键工艺参数包括气体流量、生长时间等对ZnO纳米结构形貌影响规律进行了研究分析,获得取向一致性好,形貌规则的ZnO纳米阵列制备方法.并应用该阵列结构制作了ZnO光电导型紫外探测器,器件具有优良的紫外光开关响应特性.
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