【摘 要】
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金刚线切割技术相比于传统砂浆切割技术具有切割速度快,切割精度高和材料损耗低等优点,是一种具有很大潜力的硅片切割技术.但是金刚线切割所得硅片表面损伤层结构与传统砂浆切割所得硅片表面损伤层结构有很大差异,可能对后续电池生产工艺造成影响.结果表明:金刚线切割相对砂浆切割可以获得具有更薄表面损伤层的硅片.当直接对原硅片进行制绒时,两种切割工艺差别不大,当对硅片进行抛光处理后再制绒时,金刚线切割所得硅片比砂
【机 构】
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中国科学院电工研究所, 100190
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金刚线切割技术相比于传统砂浆切割技术具有切割速度快,切割精度高和材料损耗低等优点,是一种具有很大潜力的硅片切割技术.但是金刚线切割所得硅片表面损伤层结构与传统砂浆切割所得硅片表面损伤层结构有很大差异,可能对后续电池生产工艺造成影响.结果表明:金刚线切割相对砂浆切割可以获得具有更薄表面损伤层的硅片.当直接对原硅片进行制绒时,两种切割工艺差别不大,当对硅片进行抛光处理后再制绒时,金刚线切割所得硅片比砂浆切割所得硅片需要更多的反应时间来达到最低反射率.另外,长时间的碱抛光可能导致表面缺陷密度增加从而降低获得最低反射率的制绒时间.
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