TiO<,2>-Nb<,2>O<,5>薄膜型空燃比传感器的研制

• 作 者: 朱建中[1]于春英[2]
• 机 构: 科学院传感技术国家重点实验室,中国科学院上海冶金研究所离子束实
• 出 处: 第五届全国敏感元件与传感器学术会议
• 发表日期: 1997年期
• 关键词: 二氧化碳电极 监测 微生物代谢

用离子束增强沉积技术（ＩＢＥＤ）制备Ｎｂ＜，２＞Ｏ＜，５＞氧敏薄膜，并同现场掺杂０．１℅Ｐｔ和５℅ＴｉＯ＜，２＞（摩尔比）。它与铂薄膜叉指形电极、铂薄膜加热器、铂薄膜温度传感器和铂掺杂ＭｇＯ多孔保护层一起构成新型汽车用空燃比传感器。传感器的电阻值在λ＝１附近突变三个数量级以上，响应时间小于０．２秒。通过适当老化处理，传感器性能稳定可靠。