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真空计在线校准系统的不确定度分析
真空计在线校准系统的不确定度分析
来源 :中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十八届年会暨中国计量测试学会真空计量专业委员会第十三届年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kevin_0713
【摘 要】
:
文章介绍了一种真空计在线校准系统的的不确定度分析。
【作 者】
:
田虎林
魏萌萌
卢耀文
王欢
【机 构】
:
北京东方计量测试研究所,北京,100029
【出 处】
:
中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十八届年会暨中国计量测试学会真空计量专业委员会第十三届年会
【发表日期】
:
2015年期
【关键词】
:
真空计
在线
校准系统
不确定度分析
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文章介绍了一种真空计在线校准系统的的不确定度分析。
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