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本文针对φ30考夫曼离子源的设计实例的问题及其改进措施进行了探讨.首先分析了离子源的主要参数,并简述了考夫曼离子源的工作原理,然后针对φ30考夫曼离子在设计和实际应用中存在的问题进行了分析,最后提出改进措施。
φ30考夫曼离子源设计实例中的问题讨论及其改进措施
【摘 要】
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本文针对φ30考夫曼离子源的设计实例的问题及其改进措施进行了探讨.首先分析了离子源的主要参数,并简述了考夫曼离子源的工作原理,然后针对φ30考夫曼离子在设计和实际
【机 构】
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东北大学机械工程与自动化学院,辽宁,沈阳
【出 处】
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2005’全国真空冶金与表面工程学术会议
【发表日期】
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2005年期
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