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Design of a Hybrid-type Electrostatically Driven Microgripper Integrated Vacuum Tool
【机 构】
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State Key Laboratory of Robotics and System,Robotics Institute,Harbin Institute of Technology,Harbin
【出 处】
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中国微米纳米技术学会第十届学术年会暨第一届国际会议(1st International Conference of th
【发表日期】
：
2008年期
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会议
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