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半导体自组织纳米结构的分子束外延生长与量子器件制备
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,半导体超晶格国家重点实验室,北京 100083
【出 处】
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中国真空学会2012学术交流会
【发表日期】
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2012年期
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