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本文论述了MEMS技术的概念研究内容、发展趋势及应用领域,并从五个方面提出了发展我国MEMS技术的建议:一、结合我国国情.二、以市场为导向.三、加强工艺装备的研究.四、结合国家的发展战略和发展规划.五、培养专业技术人才.
MEMS技术及发展建言
【摘 要】
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本文论述了MEMS技术的概念研究内容、发展趋势及应用领域,并从五个方面提出了发展我国MEMS技术的建议:一、结合我国国情.二、以市场为导向.三、加强工艺装备的研究.四、结合
【机 构】
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沈阳仪表科学研究院
【出 处】
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中国科协"振兴东北地区等老工业基地"专家论坛暨首届沈阳科学学术年会
【发表日期】
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2004年8期
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