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本文报道了RFMEMS开关的瞬态响应实验过程以及结果,采用示波器对开关的波形进行了时域记录.实验数据显示,开关在达到域值电压之前,由于电容泄露,开关的电压波形略有下降.导通瞬间,开关的接触电阻变化很大.最后,对开关的瞬态响应进行了理论分析.
RFMEMS串联开关的瞬态响应分析
【摘 要】
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本文报道了RFMEMS开关的瞬态响应实验过程以及结果,采用示波器对开关的波形进行了时域记录.实验数据显示,开关在达到域值电压之前,由于电容泄露,开关的电压波形略有下降.导通瞬间,开关的接触电阻变化很大.最后,对开关的瞬态响应进行了理论分析.
【机 构】
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清华大学电子工程系(北京)
【出 处】
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2002全国第九届微波集成电路与移动通信学术会议
【发表日期】
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2002年4期
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