【摘 要】
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高温金属的硅化物在高温时具备良好的物理以及化学性质,故被广泛应用在高温严苛的环境之下.随着薄膜成长的技术日趋进步,对靶材的需要也相对提高。然而,某些靶材会因为制作过程的关系而导致纯度上或结构上有缺陷,这当中包括了成分偏析、晶粒粗大与多孔而不致密等等。而这些缺陷我们可以利用热均压(Hot Isostatic Pressing,HIP)来消除,以得到高相对密度、成分均匀、晶粒细致与等方向性结构的材料。
【机 构】
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国立成功大学材料科学及工程学系 国立台北科技大学材料及资源工程系
【出 处】
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2007全国粉末冶金学术及应用技术会议暨海峡两岸粉末冶金技术研讨会
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高温金属的硅化物在高温时具备良好的物理以及化学性质,故被广泛应用在高温严苛的环境之下.随着薄膜成长的技术日趋进步,对靶材的需要也相对提高。然而,某些靶材会因为制作过程的关系而导致纯度上或结构上有缺陷,这当中包括了成分偏析、晶粒粗大与多孔而不致密等等。而这些缺陷我们可以利用热均压(Hot Isostatic Pressing,HIP)来消除,以得到高相对密度、成分均匀、晶粒细致与等方向性结构的材料。
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