氦质谱细检漏标准的漏率判据及改进分析

来源 :第十四届全国质谱分析和检漏会议、第九届全国真空计量测试会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yuanreng
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针对有关氦质谱细检漏的我国和美国现行军用标准,通过对漏率判据相应的氦气交换时间常数(s)<,He>的计算,实现灵活加压法漏率判据试验方案的设计,以及这些标准的改进分析,文章分析指出:(s)<,He>可用来评价标准的试验条件和漏率判据方案;现行我国军用标准的漏率判据普遍保证不了内部水汽含量和长期贮存要求;现行军用标准不同的漏率判据形成了三到四个密封性等级;充入法工艺控制和加压法检漏是较先进的组合细检漏方案:军用标准均存在(s)He不均衡问题;建议开展研究,制订氦质谱细检漏的专项标准.
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